مقاله کنترل فرآیند تولید دقیق با انتشار اکوستیک

دانلود مقاله ISI ترجمه شده فرآیند تولید کردن دقیق که به وسیله انتشار اکوستیک کنترل می شود

عنوان انگلیسی : Precision manufacturing process monitoring with acoustic emission

عنوان فارسی: فرآیند تولید کردن دقیق که به وسیله انتشار اکوستیک کنترل می شود

چکیده و کلمات کلیدی این مقاله:

ضروریات کنونی در صنایع با تکنولوژی بالا مانند نیمه هادی، اپتیک MEMS، غیره، نیازی برای فرایندهای تولیدی اظهار داشته که بتوانند مشخصه های کوچکتر خیلی زیادی را به طور قابل اطمینان در مقاومت خیلی بالا تولید کنند، در سیستم های در حال کنترل که می توانند برای شناسایی، کنترل و بهبود بخشیدن تولید این مشخصه های کوچکتر که برای برآوردن ضروریات زیاد در دقت و کیفیت مورد نیاز می باشند این مقاله در مورد ضروریات منحصر به فرد از کنترل کردن فرایندهای تولیدی دقیق و مناسب بودن انتشار اکوستیک (AE) را به عنوان یک تکنیک کنترل در مقیاس دقیق بحث می کند، سپس جزئیات روی استفاده از تکنولوژی حس گر AE در کنترل کردن فرآیندهای تولید دقیق داده می شوند ؛ مخصوصاً خرد کردن، برنامه ریزی مکانیکی، شیمیایی خیلی دقیق.

نظارت بر فرآیند تولید دقیق با انتشار اکوستیک

ضروریات کنونی در صنایع با تکنولوژی بالا مانند نیمه های، اپتیک MEMS و غیره نیازی برای فرایندهای تولیدی اظهار داشته که بتوانند مشخصه های کوچکتر خیلی زیادی را به طور قابل اطمینان در مقاومت خیلی بالایی تولید کنند. این نیاز رو به افزایش برای توانایی جهت تولید مشخصه ها در کوچکترین مقیاس های طولی و دقت بیشتری می تواند در منحنی تانیگاچی ارائه شود که توضیح می دهد که کوچکترین صحت قابل حصول (و در نتیجه، کوچکترین مشخصه قابل تولید) به عنوان یک عملکردی از زمان کاهش می یابد. در سیستم های کنترل شونده که می توانند برای شناسایی کردن به کنترل و بهبود بخشیدن تولید این مشخصه های کوچکتر مورد استفاده قرار بگیرند که برای برآوردن نیازهای رو به افزایش در دقت و کیفیت مورد نیاز می شوند. کنترل کردن بر اساس حس گر، اطلاعات با ارزشی درباره فرایند تولیدی می دهد که می تواند به عنوان هدف دوگانه از کنترل فرایند و کنترل کیفیت عمل کند و در نتیجه بخشی از هر محیط تولیدی خواهد بود که به طور کامل اتومات شده است. به هر حال، برای هر حس گر که می خواهد به عنوان یک ابزار کنترلی استفاده شود، یک اندازه بالای از اطمینان و اعتماد در مشخص کردن و فرایند تولید مورد نیاز می باشد. همانطور که در مرور مقاله قبلی به وسیله دورنفلید و دیگران توضیح داده شد، انتشار اکوستیک (AE) یک میزان بالایی از اطمینان را در شناسایی پدیده های متعدد مرتبط با جابجایی مواد توضیح داده است، مخصوصاً در مقیاس کوچک، از این رو به مناسب بودن برای کنترل فرایند تولید دقیق اعتبار می دهد. این کار حساسیت AE را در سه نظام تولیدی مختلف توضیح می دهد که در منحنی تانیگاچی ترسیم شده است، مقیاس های خیلی دقیق، سنتی / نرمال.

Abstract

Current demands in high-technology industries such as semiconductor, optics, MEMS, etc. have predicated the need for manufacturingprocesses that can fabricate increasingly smaller features reliably at very high tolerances. In situ monitoring systems that can be used tocharacterize, control, and improve the fabrication of these smaller features are therefore needed to meet increasing demands in precision andquality. This paper discusses the unique requirements of monitoring of precision manufacturing processes, and the suitability of acousticemission (AE) as a monitoring technique at the precision scale. Details are then given on the use of AE sensor technology in the monitoring ofprecision manufacturing processes; grinding, chemical–mechanical planarization (CMP) and ultraprecision diamond turning in particular.q 2005 Elsevier Ltd. All rights reserved.Keywords: Acoustic emission; Precision; Process monitoring

فهرست موضوعات مقاله :

خلاصه

مقدمه

ضروریات برای تکنولوژی حس گر در مقیاس دقیق

منابع برای AE در تولید دقیق

کنترل کردن پوشش چرخ خردکن بر اساس AE

ترسیم کردن توپوگرافی چرخ خرد کننده

مکانیسم پوشش چرخ

کنترل آسیاب بر اساس AE

کنترل کردن پلاناریزیشن مکانیکی ـ شیمیایی بر اساس AE

نوشتن دقیق برش های نازک انجام شده با CMP

مسیر نقطه پایانی برای CMP بر اساس AE

کنترل کردن ماشین فوق دقیق بر اساس AE

کنترل کردکن چرخش فوق دقیق از مس کریستال تنها

کنترل کردن چرخش فوق دقیق از پلی کریستالین

نتیجه گیری